202310335101
基于有机介质的IC光刻设备浸没单元流控技术研发
创新训练项目
浙江大学
一年期 (2023-03 至 2023-04)
工学
机械类
2023-07-09
姓名 专业班级 所在学院 项目中的分工 成员类型
田明和 第一主持人
张沁 成员
梁桐 成员
姓名 职称 指导教师类型
苏芮 副研究员 第一指导教师